RHH系列射频电源依靠成熟的射频发生技术为基础，为客户提供更大的功率、精度更高、响应快速的射频电源。具有相位可设、脉冲可控、数字调谐等功能。适用领域：光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。
适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。
产品特点
● 半砖和机架式安装方式
● 采用全数字控制，具有便捷和丰富的操作菜单
● 频率调谐、脉冲和脉冲同步功能
● 具备CEX相位同步功能
● 完善保护功能
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