产品特点

Field系列全固态射频电源采用全固态它激式平衡射频功放技术，工作频率范围为1MHz-400MHz，功率范围从10KW至30KW，是为半导体生产制造和太阳能光伏生产制造设计的新一代功率源，主要应用包括射频溅射，反应离子刻蚀，射频偏置，多态等离子体，等离子体表面处理，射频激励CO2激光器系统和电感耦合等离子体系统等。

Field系列全固态射频电源的优势：

1：高功率密度，在一个标准19英寸宽、4U(178mm)高的机箱内集成了高达12KW的射频输出功率，并且交流转直流的直流电源也在其中，减小了对客户使用时场地的要求。

2：快速智能的驻波（VSWR）保护功能，Field系列射频电源的驻波保护能在负载出现异常后毫秒级的时间内快速启动，可以及时的可靠的保护射频电源不因负载的异常而损坏。

3：高可靠性高稳定性，我们富有经验的工程师精心设计的射频功放在任何负载下都能稳定的输出，负载在全Smith图上无杂波。

4：先进的射频功率测量系统，Field系列射频电源的测量系统采用基于FPGA的数字中频测控技术，能达到最严苛的半导体制程的功率精度要求。

5：先进的控制系统，Field系列射频电源功率控制系统采用双PID控制算法，能精确的稳定的控制射频电源的输出功率。

6：智能的灭弧控制系统，可以通过参数设置准确的识别电弧。

7：支持扫频。

8：双PID、支持多级脉冲。

Field系列射频电源通过远程控制（使用Analog I/O 端口、串口或者网口控制）